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SEMI D16 - フラット パネル ディスプレイ マテリアル ハンドリング システムとツール ポート間の機械的インターフェイスの仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
/
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は、フラット パネル ディスプレイの製造に使用されるプロセス ツールのツール ポートに関する機能要件を定義します。これらの機能要件は、機能要件を標準化することによって、ツールへの輸送機器のインターフェースを容易にします。このような規格は、マテリアルハンドリング機器の選択の自由を維持しながら、コスト効率の高いインターフェースを促進することを目的としています。
参照されるSEMI規格
SEMI D5 — フラットパネルディスプレイ基板の標準サイズ
SEMI D11 — フラットパネルディスプレイガラス基板カセットの仕様
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