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SEMI D16 - FPDマテリアルハンドリングシステムとツールポート間の機械的なインターフェース仕様 -
Volume(s):
Equipment Automation Hardware
/
Flat Panel Display
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本仕様は、
フラットパネルディスプレイ装置委員会で技術的に承認されたもので、北米フラットパネルディスプレイ委員会が直接責任を負うものである。現版は1998年7月に北米地域規格委員会にて承認された。年7月にまずSEMI On Lineで入手可能となり、 1998年9月発行に至る。本仕様は
FPD製造に使用するプロセスツールのツールポートに関わる主要な要求事項を規定する。標準化は，マテリアルハンドリング装置の選択に自由度を持たせて，コスト削減に配慮したインターフェースを奨励することを目的とする。これらの標準は，プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し，また，ツールの前面にある表面の特徴についても規定する。このインターフェース要求事項は普及的なものであり、ある特定の搬送方式を奨励することを避けている。
WIP搬送のインターフェース、あるいは、AGVのような個別設計ビークルとのインターフェース、に有効である。 この標準に採用した寸法は、カセット搬送と同様、枚葉の場合にも適用する。 参照されるSEMI規格SEMI D5 — フラットパネルディスプレイ基板の標準サイズ
SEMI D11 — フラットパネルディスプレイガラス基板カセットの仕様
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