
SEMI D13 - FPD用カラーフィルタの用語 -
Abstract
本基準は、グローバル フラット パネル ディスプレイ – カラー フィルター & 光学素子委員会で技術的に承認されています。現版は2008 年 5月13 日、グローバル監査審査小委員会にて発行が承認されました。 月にwww.semi.orgで、そして2008年7月にCD-ROMで入手可能となる。 初版は1995年発行、前版は2001年11月に発行された。
これらの用語と定義は、FPDカラーフィルタ( CF )の各種要素と特性について置いている。
カラーフィルタはカラーフラットパネルディスプレイの基板を含む。 カラーフィルタは基板、着色層、ブラックマトリックス、オーバーコート層や透明導電膜などの材料層から構成されている。 ,管理や特性付けが必要な様々な特性を持つ。本書はこれらの層の大要を,選択された要素の用語と定義,一部のカラーフィルタ欠陥の外観の提案とともに提供する。文書は材料仕様、検査基準とも試験方法の詳細な説明に役立ちます。
参照されるSEMI規格SEMI D3 — フラットパネルディスプレイ基板の品質領域仕様
SEMI D20 — FPDマスク欠陥の用語
SEMI D21 — FPDマスクパターン精度の用語
SEMI M21 — デカルト配列内の長方形要素にアドレスを割り当てるためのガイド
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