SEMI D11 - フラットパネルディスプレイガラス基板カセットの仕様 -

Abstract

この規格は、フラット パネル ディスプレイ – ファクトリー オートメーション グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2009 年 5 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2009 年 7 月に www.semi.org で入手可能です。初版は 1995 年に出版されました。以前は 2003 年 7 月に出版されました。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

この文書では、フラット パネル ディスプレイ (FPD) 用のサブアセンブリおよびマスクの製造および処理においてガラス基板とともに使用されるカセットについて説明します。

この文書は、多数の長方形の FPD 基板を保持するカセットに適用されます。選択された用語と定義、および概要仕様が含まれています。単一基板カセットの仕様は、別の文書で策定される予定です。

SEMI D3 — フラットパネルディスプレイ基板の品質領域仕様
SEMI D5 — フラットパネルディスプレイ基板の標準サイズ
SEMI D6 — 液晶ディスプレイ (LCD) マスク基板のエッジの長さと厚さの仕様
SEMI D9 —FPD基板の用語
SEMI D21 — フラットパネルディスプレイマスクの定義
SEMI E1 — 3 インチ、100 mm、125 mm、および 150 mm のプラスチックおよび金属ウェーハ キャリアの仕様

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