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SEMI D9 - FPD 基板の用語 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この文書は軽微な編集を加えて再承認されました 変化します。
この文書では、材料の用語と定義を説明します。 フラットパネルディスプレイ（FPD）基板の内部および表面上の欠陥 寸法、熱、化学、光学、機械的特性の FPD基板。
これらの用語と定義は、フロントエンドとフロントエンドの両方に適用されます。 FPDの製造に使用される背面基板。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI D3 — フラットパネルディスプレイの品質領域仕様 基板
SEMI D5 — フラットパネルディスプレイ基板の標準サイズ
SEMI D7 — FPDガラス基板の表面粗さ測定 方法
SEMI D11 — フラットパネルディスプレイガラスの仕様 基板カセット
SEMI D12 — フラットパネルのエッジ状態の仕様 ディスプレイ（FPD）基板
SEMI D15 — FPDガラス基板表面のうねり測定 方法
SEMI D24 — 用途に使用されるガラス基板の仕様 フラットパネルディスプレイの製造
改訂履歴
SEMI D9-0303 (再承認 0321)
SEMI D9-0303 (再承認 0515)
SEMI D9-0303 (再承認 0709)
SEMI D9-0303 (技術改訂)
SEMI D9-1101 (技術改訂)
SEMI D9-94 (初公開)
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