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SEMI D7 - FPDガラス基板の表面粗さ測定方法 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、フラット パネル ディスプレイ グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2003 年 4 月 28 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2003 年 7 月に www.semi.org で入手可能です。初版は1994年に出版されました。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この文書は、触針式表面粗さ測定器によるFPDガラス基板の表面粗さの測定方法を規定したものです。
この仕様は、フラット パネル ディスプレイ用のガラス基板のベンダーおよび/または購入者によって使用され、使用されるすべてのガラス基板に対して有効です。
参照されるSEMI規格なし。
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