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SEMI D6 - 液晶ディスプレイ (LCD) マスク基板の仕様 -
Volume(s):
Flat Panel Display
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は、用途に使用される基板の標準を定義します。 液晶ディスプレイのマスクを作製します。
この仕様は、以下のフォトマスクに適用されます。 主に液晶ディスプレイの製造に使用されます。エッジの長さ 指定範囲は202.8mm×202.8mm～1220mm×1400mmです。
エッジ長が 200 mm 未満の基板は、 半導体マスクの仕様 (SEMI P1 を参照)。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI P1 — 硬質表面フォトマスクの仕様 基板
改訂履歴
SEMI D6-0211 (再承認 0117)
SEMI D6-0211 (技術改訂)
SEMI D6-0308 (技術改訂)
SEMI D6-0305 (技術改訂)
SEMI D6-1101 (技術改訂)
SEMI D6-0699 (技術改訂)
SEMI D6-1296 (技術改訂)
SEMI D6-92 (初公開)
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