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SEMI C101 - 化学機械平坦化 (CMP) スラリーおよび関連化学薬品の pH を測定するための試験方法 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、測定および測定のための試験方法を定義します。 スラリーの pH および化学的機械的平坦化後の (pCMP) をレポートします。 洗浄用化学薬品は分析証明書 (CoA) 文書に記載されており、何を使用するかを定義しています。 サンプルの測定温度。このテスト方法では、 現在の状況に基づく報告における達成可能な有効数字の管理 計測機能。このテスト方法ではサンプルの収集も推奨されます そして準備テクニック。
この試験方法はスラリーと pCMP アプリケーションに適用されます。 メーカーおよび/またはIDMが対策として関連すると判断した化学物質 素材の品質。
この試験方法では、条件と手順について説明します。 単一または多成分のスラリーおよび pCMP 化学薬品の pH 測定用 オフライン（ベンチトップ）計測機器を使用します。
このテスト方法は通信のための共通の基盤を提供します スラリーメーカーとユーザーの間で。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
改訂履歴
SEMI C101-0621 (初公開)
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