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SEMI C97 - パイプラインガスまたは加圧ガスシリンダーによって供給されるガスの粒子レベルの測定に関する仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 8 月 17 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2018 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。
注意: この文書は、SEMI C6.2、SEMI C6.3、SEMI C6.4、SEMI C6.5、SEMI C6.6、および SEMI C6.7 を置き換えるものです。
この文書は、パイプライン (バルク) ガスまたは高圧ガスシリンダーに含まれるガスとして供給される酸素 (O 2 )、水素 (H 2 )、および窒素 (N 2 ) ガスの粒子仕様と試験方法を提供することを目的としています。これらのガスからの粒子汚染を制御するためです。
この文書には、表 1 にリストされているガス、供給源、および粒子グレードの粒子仕様が記載されています。
参照されるSEMI規格なし。
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