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SEMI C96 - 化学機械平坦化 (CMP) スラリーの密度を測定するための試験方法 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
このテスト方法の目的は、 スラリーの密度を測定するための標準化された試験方法。 密度測定のサンプル温度と測定回数の指定 結果の測定値を次のように測定する有効数字 ユーザーに報告され、対応する分析証明書 (CoA) で報告されます。 サプライヤー。
この試験方法では、条件と手順について説明します。 オフラインでの単一または複数成分のスラリーの密度測定用 (ベンチトップ) 計測機器。
このテスト方法は通信のための共通の基盤を提供します スラリーメーカーとユーザーの間で。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
改訂履歴
SEMI C96-1121 (技術改訂)
SEMI C96-0618 (初公開)
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