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SEMI C95 - ペンタキス ジメチルアミノ タンタルのガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 3 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2016 年 5 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。
この文書の目的は、必要性が確認されているペンタキス ジメチルアミノ タンタル (PDMAT) に関するガイドを提供することです。
この文書の範囲は、半導体産業で原子層堆積による窒化タンタルベースの層の堆積に使用される PDMAT の層をカバーします。
参照されるSEMI規格なし。
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