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SEMI C94 - シクロヘキサノンのガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 3 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2016 年 5 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。
この文書の目的は、必要性が確認されているシクロヘキサノンに関するガイドを提供することです。
この文書の範囲は、半導体産業で使用されるシクロヘキサノンの階層をカバーします。
参照されるSEMI規格SEMI C1 - 液体化学物質の分析ガイド
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