SEMI C92 - 塩化第二鉄溶液を使用した腐食性ガスシステムで使用されるステンレス鋼表面の臨界孔食温度を決定するための試験方法 -

Abstract

注意: このドキュメントはグローバル サポートによってサポートされなくなりました。 技術委員会。 SEMI F119 に置き換えられました。

このテスト方法の目的は、 コンポーネントの接液面の孔食に対する相対的な耐性 半導体用の腐食性ガス供給システムでの使用を目的としています。 製造業。この試験方法は ASTM G48 を応用したものであり、次のことを目的としています。 組成や加工の異なるステンレス鋼を区別する 接液面の腐食性能に影響を与える可能性があります。詳細 メソッドに関する情報は次のとおりです。 ASTM G48。

このテスト方法では、次の目的で使用できる手順について説明します。 チューブの接液面の耐孔食性をランク付けするか、 腐食性ガスシステムでの使用を目的とした仕上げ表面のコンポーネント。 孔食は半導体における潜在的な腐食故障メカニズムです ガス供給システム、特に危険にさらされた溶接部品やチューブ 湿気を含む腐食性ガスが存在する場所。

このテスト方法は、 ASTM G48 方法 E、臨界孔食温度 ステンレス鋼のテスト。適応では、次のことを実行する方法が記述されます。 ガス供給システムから切り取られたクーポンまたは接液面部分の試験方法 コンポーネントまたはチューブ。酸性化した第二鉄への水浸漬法です 塩化物溶液。

このテスト方法は再現可能であり、指標を提供します。 定性的（すなわち、臨界孔食温度）に加えて、 目視）耐食性の評価。

参照SEMI規格（別途購入）

セミ F19 — ステンレス接液面の表面状態の規格 スチールコンポーネント

改訂履歴

SEMI C92-0216 (SEMI F119 に置き換えられました)

SEMI C92-0216 (初公開)

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