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SEMI C90 - 液体化学薬品供給システムで使用されるパーフルオロアルコキシ (PFA) 材料の試験方法および仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2015 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2015 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。
この文書は、パーフルオロアルコキシ (PFA) 樹脂とコンポーネントの準備と、液体化学薬品分配システムのコンポーネントと樹脂を評価するために使用される化学試験方法の前処理手順を定義します。
この文書には、液体化学薬品分配システムで使用される PFA 樹脂ペレット、チューブ、およびその他のコンポーネントに適用できる準備およびテスト手順が含まれています。
この文書は、試験流体中の液体化学物質分配システムのサンプル材料の評価に使用される準備および前処理手順を定義します。この文書は、これらのサンプルの浸出および洗浄に使用できる化学物質の純度を定義します。
この手順は、鉄レベルの分析のための 70°C および周囲温度でのサンプル浸出に適用されます。
参照されるSEMI規格SEMI C35 — 硝酸の仕様とガイドライン
SEMI C69 — ポリマーペレットの表面積を測定するための試験方法
SEMI F48 — ポリマー材料中の微量金属を測定するための試験方法
SEMI F57 — 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるポリマー材料およびコンポーネントの仕様
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