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SEMI C81 - トリス(ジメチルアミノ) シラン (3DMAS) のガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2013 年 1 月に出版されました。
この文書の目的は、必要性が確認されているトリス(ジメチルアミノ) シラン (3DMAS) のガイドを提供することです。
この文書の範囲は、半導体産業で原子層堆積による酸化シリコン、窒化シリコンベースの層の堆積に使用される高純度 3DMAS をカバーします。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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