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SEMI C80 - テトラキス(ジメチルアミノ) シラン (TDMAS) のガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書の目的は、必要性が確認されているテトラキス(ジメチルアミノ) シラン (TDMAS) のガイドを提供することです。
この文書の範囲は、半導体産業で原子層堆積による酸化シリコンおよび窒化シリコンベースの層の堆積に使用される高純度 TDMAS をカバーします。
参照されるSEMI規格
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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