SEMI C79 - 超純水 (UPW) 配水システムで使用されるサブ 15 nm フィルターの有効性を評価するためのガイド -

Abstract

この文書は、超純水 (UPW) 流体ストリームで使用されるフィルター要素の有効性を評価するための推奨ガイドであり、ウェーハ上の粒子汚染のリスク軽減として粒子制御を提供します。

ただし、このガイドで取り上げる粒子サイズでは適切なオンライン粒子検出計測が不足しているため、オフラインのフィルター性能テストを使用してフィルター保持効率を検証できます。オフラインフィルター性能テストは、シリコンウェーハと接触する UPW の流れにおける粒子制御に関連するリスクを軽減するのに役立ちます。

この文書は、UPW 流体ストリームで使用されるフィルター要素を評価するための試験方法のガイドを提供します。

この文書は標準ではなくガイドです。現実世界の UPW ではるかに低い粒子濃度下での粒子の挙動を評価するには、高チャレンジ粒子濃度を使用した手順でテストした結果と実際のフィルターの性能を相関させるには、追加のデータが必要です。つまり、このガイドで説明されている方法では、現在の粒子検出計測では低粒子濃度を検出できないため、現実世界の状況を代表しない高粒子濃度でフィルターが試行されます。

このガイドは、半導体製造ツールおよび付属機器での使用を目的とした UPW システム最終フィルタおよびその他の UPW 分配フィルタに適用されます。

このガイドは、5 ～ 15 nm の UPW 粒子の制御を必要とする高度な半導体施設に適用されます。このガイドは、既存の粒子検出計測ではカバーされない大きな粒子にも使用できます。

このガイドでは、フィルターのパフォーマンスを評価する際の 4 つの側面を考慮します。

• 流入粒子を保持するフィルターの能力は、粒子チャレンジテストで評価されます。フィルターは、再循環を適用せずに、水またはチャレンジ粒子溶液のシングルパスろ過でテストされます。
• フィルターによる粒子の寄与の可能性は、フィルターの最初のすすぎ中に評価されます。
• フィルター性能の安定性は、フィルターの動作寿命全体にわたって性能テストを繰り返すことによって解決されます。フィルタの交換頻度を確認するために、同じフィルタ グループのさまざまな代表的なフィルタがフィルタの寿命中にテストされます。
• 初期フィルターの清浄度。

このガイドでは、試験媒体として UPW を使用してフィルター粒子の保持を測定する手順について説明します。 UPW パラメータは、このガイドの意図と目的のために、§ 7.6 で定義されます。

このガイドでは、平均粒径 5 ～ 15 nm の市販のコロイダルシリカを使用しています。フィルターの課題としてポリスチレン ラテックス球 (PSL) を使用することは、5 ～ 15 μm のサイズ範囲では機能しません。PSL のサイズ分布が広すぎ、白色の球状プラスチック ビーズの使用はフィルター テストにとって非現実的な課題であるためです。コロイダルシリカは、5 ～ 15 nm のサイズ範囲で市販されている (そして安価である) ため、優れた課題材料です。コロイダルシリカは比較的狭いサイズ分布を持ち、フィルター材料との相互作用が低いです。したがって、主にフィルターのふるい分け機構によって除去されます。

このガイドで説明されているフィルター性能評価手順では、ラボでのサンプル採取分析とその場での液体粒子測定 (エアロゾル粒子検出技術を使用) を組み合わせて使用​​します。

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SEMI F57 — 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるポリマー材料およびコンポーネントの仕様
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