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SEMI C77 - 検出可能な最小粒子サイズが 30 nm ～ 100 nm である液体媒介粒子計数器の計数効率を決定するための試験方法 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2018 年 5 月 22 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2018 年 8 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2012 年 9 月に出版されました。以前は 2018 年 6 月に出版されました。
この文書は、検出可能な最小粒子サイズが 30 nm ～ 100 nm である液体媒介粒子カウンターの計数効率を決定するためのテスト シーケンスを提供するものです。
この文書では、定量化された粒子数濃度サンプルを使用した液体媒介粒子計数器の計数効率試験システムについて説明します。
この文書は、液体媒介粒子計数器の計数効率試験の試験条件を定義します。
この文書では次の領域について取り上げます。
• オリジナルのポリスチレンラテックス (PSL) 粒子懸濁液の質量濃縮
・流体、流量、圧力、体積、PSL粒子数濃度などの希釈率を計算するための係数。
• 試験対象装置 (EUT) 液体媒介粒子計数器の種類
• PSL 粒子の種類
• テストレポートの説明
参照されるSEMI規格SEMI F63 — 半導体プロセスで使用される超純水のガイド
SEMI F104 — 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるコンポーネントの評価のための粒子試験方法ガイド
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