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SEMI C74 - ハフニウム tert-ブトキシドのガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 7 月 1 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2011 年 8 月に出版されました。
この文書の目的は、必要性が確認されているハフニウム tert-ブトキシドに関するガイドを提供することです。
この文書の範囲は、原子層堆積または化学蒸着による酸化ハフニウムベースの層の堆積のために半導体産業で使用される高純度ハフニウム tert-ブトキシドをカバーします。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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