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SEMI C72 - プロピレングリコールモノメチルエーテル（PGME）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（PGMEA）および混合物 70wt% PGME/30wt% PGMEA に関するガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2011 年 8 月に出版されました。
この文書の目的は、プロピレングリコールモノメチルエーテル (PGME)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート (PGMEA) および 70 wt% PGME/30 wt% PGMEA の混合物に関するガイドを提供することです。ニーズが特定されました。
この文書の範囲は、半導体産業で高度なレジスト技術の溶剤として使用される PGME、PGMEA、および 70wt% PGME/30wt% PGMEA の混合物をカバーします。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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