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SEMI C71 - 三塩化ホウ素 (BCI3) の仕様とガイド -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書の目的は仕様を提供することです 半導体に使用される三塩化ホウ素（BCl3）のガイド 業界。
この仕様は 0.5 μ 以下の形状に関するものです (0.35 ～ 0.5 の範囲)、気相分析を使用した分析手法について説明します。
分析方法が不完全な場合、要件は がガイドとして紹介されています。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C3 — ガスの仕様
改訂履歴
SEMI C71-0421 (技術改訂)
SEMI C71-0815 (技術改訂)
SEMI C71-0611 (初公開)
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