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SEMI C70 - 六フッ化タングステンの仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 8 月 31 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2016 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は2011年6月に出版されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用される六フッ化タングステン (WF 6 ) の仕様を提供することです。
この文書では、半導体産業で使用される六フッ化タングステンの要件について説明します。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
SEMI C3 — ガスの仕様
SEMI C10 — メソッドの検出限界の決定に関するガイド
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