SEMI C69 - ポリマーペレットの表面積を測定するための試験方法 -

Abstract

この文書は、判定のための試験方法を提供します。 ポリマーペレットの表面積。

比較的正確な表面積の決定 ポリマーペレットはさまざまな用途に重要です マイクロエレクトロニクス産業。たとえば、ポリマーペレットはブローに使用されます。 高純度部品の成形、回転成形、射出成形、または押出成形 薬品供給システムやライニングシートに使用されます。表面を知る 面積は、表面汚染値を計算し、それを関連付ける場合に重要です。 完成したコンポーネントにそれらを追加します。

この文書では、拡張ユークリッドを使用したテスト方法の概要を説明します。 ポリマーペレットを幾何学的形状として扱い、測定する技術 寸法を決定します。

を計算するための式を表 A1-2 に示します。 測定された寸法を使用したペレットの表面積。

この方法を使用して得られた値 ( m ²あたりの表面積 キログラム重量）をSEMI F57などの文書で使用して決定できます。 単位表面積あたりの汚染。

参照SEMI規格（別途購入）

SEMI F40 — 薬液調製実習 化学試験用分配コンポーネント

SEMI F48 — 体内の微量金属を測定するための試験方法 ポリマー材料

SEMI F57 — ポリマー材料およびポリマー材料の仕様 超純水および薬液供給システムで使用されるコンポーネント

改訂履歴

SEMI C69-1015 (再承認 1220)

SEMI C69-1015 (技術改訂)

SEMI C69-0611 (初公開)

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