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SEMI C69 - ポリマーペレットの表を測定するための試験方法 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Liquid Chemicals Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。
本書は、ポリマーペレットの表面積を測定するための試験方法を規定している。
様々なマイクロエレクトロニクス産業に使用されるポリマー製品において，原材料のポリマーペレットの表層を比較的正確に把握することは重要である。成形によって製造される高純度成分の薬液配管部品やライニングシートに使用される。である。
参照されるSEMI規格SEMI F40 — 化学試験用の液体化学薬品分配コンポーネントの準備の実践
SEMI F48 — ポリマー材料中の微量金属を測定するための試験方法
SEMI F57 — 超純水および液体化学薬品供給システムで使用されるポリマーコンポーネントの暫定仕様
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