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SEMI C68 - ジルコニウムアミドのガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2011 年 8 月に出版されました。
この文書の目的は、必要性が確認されているジルコニウムアミドに関するガイドを提供することです。
この文書の範囲は、半導体産業で原子層堆積法による酸化ジルコニウムベースの層の堆積に使用される高純度ジルコニウムアミド、すなわちテトラキス(ジメチルアミノ)ジルコニウム、テトラキス(ジエチルアミノ)ジルコニウム、およびテトラキス(エチルメチルアミノ)ジルコニウムを対象としています。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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