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SEMI C66 - トリメチルアルミニウム (TMAI) のガイド、99.5% 品質 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2008 年 2 月に出版されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用されるトリメチルアルミニウム (TMAl) に関するガイドを提供することです。
この文書の範囲は、半導体産業で蒸着技術によるアルミニウム金属の堆積や原子層堆積による酸化アルミニウムベースの層に使用される高純度 TMAl の層をカバーします。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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