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SEMI C65 - トリメチルシラン (3MS)、99.995% 品質のガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2016 年 12 月 8 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2008 年 2 月に出版されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用されるトリメチルシラン (3MS) のガイドを提供することです。
この文書では、半導体業界で低誘電率誘電体、SiC エッチ ストップ、ハード マスク、銅拡散バリア前駆体としてプラズマ化学蒸着 (PECVD) に使用される 3MS のガイドについて説明します。
参照されるSEMI規格なし。
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