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SEMI C64 - 出荷管理に関する SEMI 統計ガイドライン -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
定量的なガイドラインを提供するため 目的のためにプロセスデータから統計的に導き出された限界値を決定する Ship to Control (STC) 制限の定義と維持。
このガイドは、特定のプロパティの指定されたプロパティに適用されます。 統計的に導出された管理限界を使用することが望ましい製品 顧客への通知、製品の交渉による処分、または 統計的仕様に基づくことができます。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C10 — 検出方法の決定に関するガイド 限界
改訂履歴
SEMI C64-0308 (再承認 1214)
SEMI C64-0308 (初公開)
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