
SEMI C64 - 統計的出荷管理に関するSEMIガイドライン -
Abstract
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出荷管理(STC)限界を規定および維持する目的で、プロセスデータから統計的に限界値を定量的に決定するためのガイドラインを提案する。
このガイドは、顧客からの通知、交渉により決定する製品の特性、あるいは統計的な仕様に基づいて決定することができることが統計的に導かれた管理限界を使用することが、特定の製品の指定された特性に適用される。
参照されるSEMI規格
SEMI C10 — メソッドの検出限界の決定に関するガイド
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C06400 - SEMI C64 - 統計的出荷管理に関するSEMIガイドライン
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