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SEMI C63 - Low K CVDプロセスで使用されるオルガノシリケート前駆体の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2007 年 11 月。以前は 2008 年 11 月に出版されました。
この文書の目的は、Low K CVD プロセスで使用されるオルガノシリケート前駆体に関するガイドラインを提供し、それらの要件をサポートするためのテスト手順を標準化することです。これらのテスト方法は、統計的に有効な結果が得られることが示されています。
この文書の範囲には、半導体産業で使用されるオルガノシリケート前駆体 (例、ジメチルジメトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン、ジエトキシメチルシラン、テトラメチルシクロテトラシロキサン) について提案されている不純物制限がリストされています。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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