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SEMI C61 - バーコード容器識別の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この文書は投票され、承認されました。 2010年に撤退。
精度と精度に関する最小限のガイドラインを提供するため プロセス化学物質またはガスの SEMI 仕様をサポートするデータのデータ報告慣行。
このガイドは、設立をサポートするために収集されたデータに適用されます SEMIプロセスケミカルまたはガスの仕様または検証 このような SEMI 仕様に準拠したパフォーマンスを実現します。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C1 — 試薬の仕様
改訂履歴
SEMI C61-0707 (撤回 0114)
SEMI C61-0707 (初公開)
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