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SEMI C55 - 近臨界、臨界および超臨界用途で使用される液体二酸化炭素 (CO2) の仕様、>/ 99.99% の品質 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2018 年 1 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版発行は 2004 年 11 月。以前は 2011 年 2 月に出版されました。
この文書の目的は、半導体産業における近臨界、臨界、超臨界の用途で使用される液体二酸化炭素 (CO 2 ) の仕様を提供することです。
この文書は、半導体産業における近臨界、臨界、および超臨界の用途で使用される液体二酸化炭素のすべてのグレードの純度要件を規定します。
分析方法が完全でない場合は、要件がガイドラインとして示されます。
参照されるSEMI規格SEMI C10 — メソッドの検出限界の決定に関するガイド
SEMI C15 — ppm および ppb 湿度標準の試験方法
SEMI F33 — 大気圧イオン化質量分析計 (APIMS) の校正方法
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