Japan Store![C05300 - SEMI C53 - ジメチルスルホキシド (DMSO) の仕様 [グレード 1 および 2]](http://store-dev2.semi.org/cdn/shop/files/CVolume_pc_ad9b5096-3e66-4115-a5c9-c42f5ebbf4a6.png?v=1776703083&width=2049)
SEMI C53 - ジメチルスルホキシド (DMSO) の仕様 [グレード 1 および 2] -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用されるジメチルスルホキシドの要件と、それらの規格をサポートするためのテスト手順を標準化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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