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SEMI C52 - 特殊ガスの貯蔵寿命の仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、ガス世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2001 年 3 月に出版されました。以前は 2012 年 3 月に出版されました。
この文書の目的は、用語を定義し、特殊ガスの最小保存期間を推奨することです。これは、ガス供給業者間で用語の一貫性を提供し、これらのガスのユーザーに一般的なガイドラインを提供することを目的としています。
この文書は、特殊ガスの製造業者または供給業者によって保管または供給される、適切に梱包、充填、分析された特殊ガスの保存期間に適用されます。この文書では、賞味期限は品質の観点から考察されています。この文書は、ガスの長期保管に関連する安全性の側面については扱っていません。
参照されるSEMI規格なし。
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