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SEMI C52 - 特殊ガスの保存寿命に関する仕様 -
Volume(s):
Gases
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Gases Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2000年12 月20日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2001年3月発行。
注意：本書は、編集上の修正を伴って再承認されました。
本書の目的は、特殊ガスの用語定義と、最短保存期限を推奨することである。こととなる。
この文書は、適切にパッケージされ、充填され、分析された特殊ガスが、特殊ガス製造者またはサプライヤによって保管された際の保管期限に適用される。本書はガスの長期保管に関する安全面は受け取れない。
参照されるSEMI規格なし。
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