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SEMI C51 - キシレンの仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この文書の目的は、半導体産業で使用されるキシレンの要件を標準化し、この規格をサポートするためのテスト手順を文書化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。
この文書の範囲は、半導体産業で使用されるキシレンのグレードです。
この物質は、オルト、メタ、パラ異性体とエチル ベンゼンの混合物です。キシレン (o-、m-、および p- 異性体) 99.0% 最小およびエチル ベンゼン 1% 最大。
参照されるSEMI規格
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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