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SEMI C47 - トランス 1,2 ジクロロエチレンのガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。
この規格の目的は、グレードのガイドを提供することです。 ニーズが確認されているトランス 1,2 ジクロロエチレン。
この規格の範囲には、提案されている不純物がリストされています。 半導体産業で使用されるトランス 1,2 ジクロロエチレンの制限。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
改訂履歴
SEMI C47-0812 (技術改訂)
SEMI C47-0706 (完全な書き換え)
SEMI C47-0699 (初公開 - SEMI C7.20 を置き換え)
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