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SEMI C47 - トランス1，2ジクロロエチレンのガイドライン -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意:この翻訳は参考コピーのみです。もしも 英語版と翻訳版の間にはいかなる違いも存在するはずです。 その他の言語の場合は、英語版が正式な正式版です。
免責事項： このSEMI スタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
SEMI スタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
注意： 本書は、 2006 年に全面的に書き換えられました。
本書の目的は、トランス1、2ジクロロエチレンに対して要求が認められたグレードのガイドラインを示す。
本書の範囲は半導体産業で使用されるトランス1 、 2 ジクロロエチレンの提案された不純物許容度の一覧作成である。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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