SEMI C46 - 25%テトラメチル水酸化アンモニウムのガイド -

Member Price: ¥135
Non-Member Price: ¥38,100

Volume(s): Process Chemicals
Language: Japanese



Type: Single Standards Download (.pdf)

リビジョン: SEMI C46-0812 - 非アクティブ

リビジョン

Abstract

本基準は、global Liquid Chemicals Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2012年6月18日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 org およびwww.semi.org で入手可能となる。初版は1991年発行。前版は2006 3 月発行。

本書の目的は、25%テトラメチル水酸化アンモニウムに対して要求が認められたグレードのガイドを示すことである。

この文書の範囲は半導体産業で使用される25% テトラメチル水酸化アンモニウムの提案された不純物許容量の一覧作成である。

参照されるSEMI規格

SEMI C1 — 液体化学物質の分析のためのガイド。

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