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SEMI C45 - オルトケイ酸テトラエチル (TEOS) の仕様およびガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2018 年 5 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1999 年 6 月に出版されました。以前は 2009 年 6 月に出版されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用されるテトラエチルオルトシリケートの要件と、それらの規格をサポートするためのテスト手順を標準化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。
この文書の範囲は、半導体産業で使用されるすべてのグレードのテトラエチルオルトシリケートです。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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