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SEMI C43 - 水酸化以上50%溶液の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本仕様は、global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版は2010年8月27日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 で入手可能となる。初版は1999年発行。 前版は2005 年11 月に発行された。
本書の目的は，半導体産業で使用される水酸化最大50%溶液に対する要求条件を標準化する，またこれらの基準をサポートする試験手順を標準化することである。結果を示している。
参照されるSEMI規格
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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