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SEMI C41 - 2-プロパノールの仕様とガイド -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 12 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1978 年に出版されました。以前は 2005 年 7 月に出版されました。
注意: 「注:」というタイトルの段落は、この規格または安全ガイドラインの正式な部分ではなく、公式の規格または安全ガイドラインを修正したり置き換えたりすることを意図したものではありません。これらは、標準または安全ガイドラインの使用を強化するために、世界的な技術委員会によって提供されています。
この文書の目的は、半導体産業で使用される 2-プロパノールの要件と、それらの規格をサポートするためのテスト手順を標準化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。
この文書の範囲は、半導体産業で使用されるすべてのグレードの 2-プロパノールをカバーします。
VLSI グレードの純度レベルは、通常、0.8 ～ 1.2 ミクロンの形状を持つ半導体デバイスで必要とされます。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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