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SEMI C40 - 水酸化カリウム45%溶液の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本仕様は、global Liquid Chemicals Committeeで技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommittee で20 10年8 月27日に発行が承認された。 org で入手可能となる。初版は1978年発行、前版は2005 年11 月発行。
本書の目的は、半導体産業で使用される水酸化カリウム45 %溶液に対する要求条件を標準化する、またこれらの基準をサポートする試験手順を標準化することである。結果を示している。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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