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SEMI C39 - 水酸化カリウムペレットの仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様は世界的なプロセス化学物質委員会によって技術的に承認されており、北米プロセス化学物質委員会が直接責任を負っています。最新版は、1999 年 4 月 23 日に北米地域標準委員会によって承認されました。最初は 1999 年 5 月に SEMI OnLine で入手可能になりました。この文書は SEMI C1.14 を完全に置き換えるものです。初版は1978年に出版されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用される水酸化カリウムペレットの要件と、それらの規格をサポートするための試験手順を標準化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。この文書は、必要性が確認されている水酸化カリウムペレットのグレードに関するガイドラインも提供します。ガイドラインの場合、試験方法がまだ統計的に検証されていない可能性があります。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 試薬の仕様
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