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SEMI C38 - オキシ塩化リンに関するガイドライン -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、世界的な液体化学物質委員会によって技術的に承認されました。この版は、2005 年 11 月 29 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって出版が承認されました。2005 年 1 月に www.semi.org で入手可能になりました。初版は 1991 年でした。以前は 1999 年 6 月に出版されました。
注意: この文書は 2006 年に完全に書き直されました。
この文書の目的は、必要性が確認されているオキシ塩化リンのグレードのガイドラインを提供することです。
参照されるSEMI規格なし。
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