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SEMI C37 - リン酸エッチング液の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この規格は、液体化学品グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 5 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2011 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1981 年に出版されました。以前は 2006 年 7 月に出版されました。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
注意: この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。
この文書の目的は、半導体産業で使用されるリン酸エッチング液の要件と、それらの規格をサポートするためのテスト手順を標準化することです。試験方法は統計的に有効な結果をもたらすことが示されています。この文書は、必要性が確認されているリン酸エッチング液のグレードに関するガイドラインも提供します。ガイドラインの場合、試験方法がまだ統計的に検証されていない可能性があります。
この文書の範囲は、半導体産業で使用されるすべてのグレードのリン酸エッチング液です。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
SEMI C2 — エッチング液の仕様
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