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SEMI C37 - リン研磨剤の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Liquid Chemicals Committee で技術的に承認されている。現版は2011年5月13日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 およびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は1981年発行。前版は2006年7月発行。
注意: この文書は、編集上の修正を考慮して再承認されました。
本書の目的は，半導体産業で使用されるリン腐食剤に対する要求条件を標準化する，またこれらの基準をサポートする試験手順を標準化することである。本書は，リン廊下剤に対して要求が認められたグレードのガイドラインも示している。 ガイドラインの場合は，試験方法は統計的に有効となっている場合がない。
参照されるSEMI規格SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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