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SEMI C36 - リン酸の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この仕様の目的は、標準化することです。 半導体産業および試験で使用されるリン酸の要件 これらの標準をサポートするための手順。試験方法では次のような結果が得られることが示されています。 統計的に有効な結果。代替方法は、次の条件を満たす限り使用できます。 メソッド検証に関する SEMI C1 要件に準拠します。
この仕様の範囲はリン酸のグレードを対象としています。 半導体産業で使用される酸。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
SEMI C35 — 硝酸の仕様とガイド
改訂履歴
SEMI C36-1121 (技術改訂)
SEMI C36-1213 (技術改訂)
SEMI C36-1107 (技術改訂)
SEMI C36-1106 (技術改訂)
SEMI C36-0705 (技術改訂)
SEMI C36-0301 (技術改訂)
SEMI C36-0200 (技術改訂)
SEMI C36-0699 (初公開 - SEMI C1.13-96 を置き換え、 SEMI C1.27-96、SEMI C7.24-0697、SEMI C8.10-93）
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