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SEMI C33 - n-メチル 2-ピロリドンの仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
English
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この規格または安全ガイドラインには無効な機能があります。 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、ステータス。 非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。 使用が有効であること。
この規格の目的は、要件を標準化することです 半導体産業および試験で使用される n-メチル 2-ピロリドン用 これらの仕様をサポートするための手順。試験方法では次のような結果が得られることが示されています。 統計的に有効な結果。代替方法は、次の条件を満たす限り使用できます。 メソッド検証に関する SEMI C1 要件に準拠します。
この規格の範囲は n-メチルのグレードです 半導体産業で使用される 2-ピロリドン。
参照SEMI規格（別途購入）
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
改訂履歴
SEMI C33-0213 (技術改訂)
SEMI C33-0301 (技術改訂)
SEMI C33-0699 (初公開 - SEMI C1.25、SEMI を置き換える) C7.16、およびSEMI C8.11)
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