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SEMI C30 - 過酸化水素の仕様 -
Volume(s):
Process Chemicals
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、グローバル global Liquid Chemicals Committee で技術的に承認されている。現版は 20 10 年 8月 27 日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 .org で入手可能となる。初版は1978年発行、前版は2001 年11 月発行。
本書の目的は、半導体産業で使用される過酸化水素に対する要求条件を標準化する、またこれらの基準をサポートする試験手順を標準化することである。 いる。
参照されるSEMI規格
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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